JJK采用AT/IT切型的石英晶體基片，以保證晶控片本征頻率的溫度穩(wěn)定性。JJK的石英晶體基片采用平凸設(shè)計，即晶片的一面是平面另一面是規(guī)定屈光度的凸面。平凸設(shè)計能夠大幅度抵制主振動模以外的雜散振動模式，從而減少沉積速度和膜厚控制過程中可能發(fā)生的頻率跳變現(xiàn)象。